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半導(dǎo)體氣敏傳感器主要結(jié)構(gòu)類型
來源: 日期:2013-10-31 15:04:34 人氣:標簽:
直熱式氣敏器件
直熱式器件管芯體積很小,加熱絲直接埋在金屬氧化物半導(dǎo)體材料內(nèi),兼作一個測量板
缺點:
熱容量小,易受環(huán)境氣流的影響
測量電路與加熱電路之間相互干擾,影響其測量參數(shù)
加熱絲在加熱與不加熱兩種情況下產(chǎn)生的膨脹與冷縮,容易造成器件接觸不良
旁熱式氣敏器件
旁熱式氣敏器件是把高阻加熱絲放置在陶瓷絕緣管內(nèi),在管外涂上梳狀金電極,再在金電極外涂上氣敏半導(dǎo)體材料,就構(gòu)成了器件
克服了直熱式結(jié)構(gòu)的缺點,器件的穩(wěn)定性得到提高
薄膜型氣敏器件
制作采用蒸發(fā)或濺射的方法,在處理好的石英基片上形成一薄層金屬氧化物薄膜(如sno2、zno等),再引出電極。實驗證明:sno2和zno薄膜的氣敏特性較好
優(yōu)點:靈敏度高、響應(yīng)迅速、機械強度高、互換性好、產(chǎn)量高、成本低等
厚膜型氣敏器件
厚膜型氣敏器件是將sno2和zno等材料與3%~15%重量的硅凝膠混合制成能印刷的厚膜膠,把厚膜膠用絲網(wǎng)印制到裝有鉑電極的氧化鋁基片上,在400~800℃高溫下燒結(jié)1~2小時制成
優(yōu)點:一致性好,機械強度高,適于批量生產(chǎn)
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