低溫多晶硅(Low Temperature Poly-silicon;簡(jiǎn)稱(chēng)LTPS)薄膜晶體管液晶顯示器是在封裝過(guò)程中,利用準(zhǔn)分子鐳射作為熱源,鐳射光經(jīng)過(guò)投射系統(tǒng)后,會(huì)產(chǎn)生能量均勻分布的鐳射光束,投射于非晶硅結(jié)構(gòu)的玻璃基板上,當(dāng)非晶硅結(jié)構(gòu)玻璃基板吸收準(zhǔn)分子鐳射的能量后,會(huì)轉(zhuǎn)變成為多晶硅結(jié)構(gòu),因整個(gè)處理過(guò)程都是在600℃以下完成,故一般玻璃基板皆可適用。
TFT LCD可分為多晶硅(Poly-Si TFT)與非晶硅(a-Si TFT),兩者的差異在于電晶體特性不同。多晶硅的分子結(jié)構(gòu)在一顆晶粒(Grain)中的排列狀態(tài)是整齊而有方向性的,因此電子移動(dòng)率比排列雜亂的非晶硅快了200-300倍;一般所稱(chēng)的TFT-LCD是指非晶硅,目前技術(shù)成熟,為L(zhǎng)CD 的主流產(chǎn)品。而多晶硅品則主要含高溫多晶硅(HTPS)與低溫多晶硅(LTPS)二種產(chǎn)品。
LTPS-TFT LCD具有高分辨率、反應(yīng)速度快、高亮度、高開(kāi)口率等優(yōu)點(diǎn),加上由于LTPS-TFT LCD的硅結(jié)晶排列較a-Si有次序,使得電子移動(dòng)率相對(duì)高100倍以上,可以將外圍驅(qū)動(dòng)電路同時(shí)制作在玻璃基板上,達(dá)到系統(tǒng)整合的目標(biāo)、節(jié)省空間及驅(qū)動(dòng)IC的成本。
同時(shí),由于驅(qū)動(dòng)IC線(xiàn)路直接制作于面板上,可以減少組件的對(duì)外接點(diǎn),增加可靠度、維護(hù)更簡(jiǎn)單、縮短組裝制程時(shí)間及降低EMI特性,進(jìn)而減少應(yīng)用系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)程及擴(kuò)大設(shè)計(jì)自由度。
LTPS-TFT LCD 高技術(shù)是做到System on Panel,第1代LTPS-TFT LCD利用內(nèi)建驅(qū)動(dòng)電路和高性能畫(huà)素晶體管而達(dá)到高分辨率和高亮度效果,已使得LTPS-TFT LCD和a-Si產(chǎn)生極大差別。
第2代LTPS-TFT LCD透過(guò)電路技術(shù)之進(jìn)步,由模擬式接口進(jìn)入數(shù)字式接口,降低耗電。此代LTPS-TFT LCD載子遷移率是a-Si TFT 100倍,電極圖案線(xiàn)寬是4μm左右,尚未充分活用LTPS-TFT LCD特性。
第3代LTPS-TFT LCD在周邊大規(guī)模集成電路(LSI)整合比第2代更完備,其目的是:(1)沒(méi)有周邊零件可使模塊更輕薄,也可以減少零件數(shù)量和組裝工時(shí);(2)簡(jiǎn)化信號(hào)處理可降低電力消耗;(3)搭載內(nèi)存可讓消耗電力降至 低。
由于LTPS-TFT LCD液晶顯示器具有高分辨率、高色彩飽和度、成本低廉的優(yōu)勢(shì),被寄予厚望成為新一波的顯示器。藉由其高電路整合特性與低成本的優(yōu)勢(shì),在中小尺寸顯示面板的應(yīng)用上有著絕對(duì)的優(yōu)勢(shì)。
但是p-Si TFT目前存在兩個(gè)問(wèn)題,一是TFT的關(guān)態(tài)電流(即漏電流)較大(Ioff=nuVdW/L);而是高遷移率p-Si材料低溫大面積制備較困難,工藝上存在一定的難度。
它是由TFT LCD衍生的新一代的技術(shù)產(chǎn)品。LTPS屏幕是通過(guò)對(duì)傳統(tǒng)非晶硅(a-Si)TFT-LCD面板增加激光處理制程來(lái)制造的,元件數(shù)量可減少40%,而連接部分更可減少95%,極大的減少了產(chǎn)品出現(xiàn)故障的幾率。這種屏幕在能耗及耐用性方面都有極大改善,水平和垂直可視角度都可達(dá)到170度,顯示響應(yīng)時(shí)間達(dá)12ms,顯示亮度達(dá)到500尼特,對(duì)比度可達(dá)500:1。
低溫p-Si驅(qū)動(dòng)器的集成方式主要有種:
一是掃描和數(shù)據(jù)開(kāi)關(guān)的混合集成方式,即行電路集成在一起,開(kāi)關(guān)及移位寄存器集成在列電路內(nèi),多路尋址驅(qū)動(dòng)器和放大器等用繼承電路外接在平板顯示屏上;
二是所有驅(qū)動(dòng)電路全集成在顯示屏上;
三是驅(qū)動(dòng)和控制電路均集成在顯示屏上。
2007年國(guó)內(nèi)第一家開(kāi)始量產(chǎn)小尺寸LTPS模組的公司為京東方現(xiàn)代(北京)顯示技術(shù)有限公司。
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